CEM3000桌面臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,其抗振設(shè)計,在充滿機(jī)械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。不管是高樓的實驗室,還是有一定振動的生產(chǎn)車間等非常規(guī)電鏡使用環(huán)境,CEM3000系列臺式電鏡都可憑借其強(qiáng)大的抗振性能應(yīng)對。
CEM3000桌面臺式掃描電鏡用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析,其抗振設(shè)計,在充滿機(jī)械振動和噪音的工業(yè)環(huán)境中依舊穩(wěn)如泰山,拍攝出清晰、高分辨率的圖像。不管是高樓的實驗室,還是有一定振動的生產(chǎn)車間等非常規(guī)電鏡使用環(huán)境,CEM3000系列臺式電鏡都可憑借其強(qiáng)大的抗振性能應(yīng)對。
1.高分辨率,滿足用戶觀測需求;
2.快速抽放氣,縮短等待時間;
3.高易用性
可快速成像,一鍵成片;
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力;
6.可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
8.多探測器
可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
CEM3000桌面臺式掃描電鏡設(shè)有CEM3000A(大樣品倉)、CEM3000B(抗振型)兩款子機(jī)型,分別在樣品倉容量、抗振性方面進(jìn)行了強(qiáng)化加深和技術(shù)拉通,兩者具有高通用性,但又各有千秋。
為客戶提供更適合的產(chǎn)品方案,讓用戶在進(jìn)行分析時更加得心應(yīng)手。
該電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測,具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
型號 | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動化軟件 | 標(biāo)配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動軸 | X,Y,T |
手動軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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