中圖儀器VT6000太陽(yáng)能電池片形貌共聚焦測(cè)量顯微鏡結(jié)合精密縱向掃描，在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)，從而重建出3D真彩圖像進(jìn)行分析?？蓽y(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；

(2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

VT6000太陽(yáng)能電池片形貌共聚焦測(cè)量顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像。它具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù)。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作。

在太陽(yáng)能光伏行業(yè)的應(yīng)用

VT6000共聚焦顯微鏡具有測(cè)量精度高、全自動(dòng)化、快速測(cè)量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)μ?yáng)能電池片微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維形貌重建：

對(duì)柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測(cè)，軟件具備對(duì)視場(chǎng)內(nèi)的柵線(xiàn)自動(dòng)測(cè)量功能，能夠?qū)呙璜@取的三維輪廓進(jìn)行多剖面分析，計(jì)算出每個(gè)剖面的柵線(xiàn)高度及寬度尺寸。

VT6000共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建，并由專(zhuān)用分析模塊自動(dòng)獲取絨面上每個(gè)金字塔的體積，比表面積等信息，計(jì)算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。

部分技術(shù)指標(biāo)