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SJ5800表面粗糙度輪廓儀超高精度衍射光學(xué)測量系統(tǒng)，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍，分辨率高達0.1nm，系統(tǒng)殘差小于2nm。一次測量可同時評定粗糙度及輪廓參數(shù)，分析評定R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)等微觀粗糙度參數(shù)及倒角、R角、直線度、位置尺寸、角度的宏觀輪廓參數(shù)。

中圖儀器SJ5800接觸式粗糙度輪廓測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm。可以對零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實現(xiàn)一次掃描測量，尤其是大范圍曲面、斜面進行粗糙度檢測。

SuperViewW13d光學(xué)輪廓測量儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，XY載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達0.4um，Z向掃描電機可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件。

SJ5700S大行程粗糙度輪廓儀可測量各種精密機械零件的粗糙度和輪廓形狀參數(shù)。用擬合法來評定圓弧、直線等參數(shù)。從而可測量圓弧半/直徑、直線度、角度、凸度、位置度、平行度、溝心距、傾斜度、垂直距離、水平距離、臺階等形狀參數(shù)。該儀器還可對各種零件表面的粗糙度進行測試評定。

中圖儀器SJ5700S接觸式輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，具備雙向測量功能，能測量30mm以內(nèi)的雙向輪廓尺寸；可對多次測量的輪廓曲線匹配后進行分析測量重復(fù)性；具備60μm以下的表面薄膜臺階高度高精度測量功能。

SJ5800表面輪廓儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度測量儀器，具有12mm-24mm的粗糙度輪廓一體式測量范圍，分辨率達到0.1nm；適合測量大曲面高精密零部件的輪廓參數(shù)測量，同時具備球面、弧面、非球面輪廓參數(shù)評價功能，能夠滿足各種高精密輪廓粗糙度加工行業(yè)的測量需求。