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中圖光學(xué)3D表面形貌輪廓儀SuperViewW1基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SJ5800表面粗糙度輪廓形狀測(cè)量?jī)x采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對(duì)零件表面的輪廓度、波紋度、粗糙度實(shí)現(xiàn)一次掃描測(cè)量。

SJ5800輪廓粗糙度一體測(cè)量?jī)x具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無(wú)需切換模塊.可以對(duì)零件表面，尤其是大范圍曲面，如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測(cè)，是大曲面測(cè)量（軸承、人工關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、軸承滾子）領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測(cè)量的利器。

粗糙度輪廓儀中圖儀器SJ5800系列采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，可以對(duì)零件表面，對(duì)于復(fù)雜的工件，對(duì)工件任意位置進(jìn)行分段測(cè)量，并做成模板便于輪廓批量測(cè)量。

中圖儀器SuperViewW1白光三維輪廓測(cè)量?jī)x由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣。

SJ5800粗糙度輪廓測(cè)量復(fù)合機(jī)采用超高精度納米衍射光學(xué)轉(zhuǎn)軸測(cè)量系統(tǒng)及高精度直線光柵，具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，專(zhuān)業(yè)測(cè)試軸承內(nèi)外側(cè)。分辨率高達(dá)到0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無(wú)需切換模塊。